Camtek LAM 868는 주류 LAM 검사를 위한 특별하게 설계된 장비로 LAM에 대한 우수한 검출 능력을 갖고 있으며 최저25µm 회로/회로폭 기술에 응용됩니다.
LAM868는 앞선 혁신 기술을 융합하여 고선명와 완벽한 촛점유지 를 통하여 영상 품질을 확보합니다.
Camtek LAM 868 검사 시스템은 마스크와 같은 투사광 광을 이용하여 정밀한 검사를 보증합니다. |  |
- 투사광 광로: 모든 중요 결함을 정확하게 검출할 만큼 탁월한 고대비도에 따른 촤상의 영상이미지 실현 확보합니다.
- 실시 초점 조절 기능으로 광학 기계가 검사 경로에 따라 유리 마스크의 편차를 다이내믹하게 추적하여 완벽한 초점 조절을 유지합니다.
- 옵션: 강화된 광학 부춤, 검사 및 효과적으로 Mylar에 거품 검출에 적용함합니다.
- 옵션: UV 방호 장치: 이런 장치는 시스템의 백색광원에서 UV 광선을 필터하여 “황광실”(YELLOW ROOM)에 안전하게 조작하게 됩니다.
- 옵션: 다양한 프레임 사이즈는 다양한 유리 마스크에 적용합니다.
성능 특성: - 진보된 광학 부품과 광대역의 CCD 카메라는 영상이미지의 실현을 더 전면적으로 강화하여 고처리량을 유지하면서 저대비도나 빛나는 재료들에 대한 검사를 개선합니다.
- 최신 혁신형 이미지 처리 펌웨어(TDEII)는 전용의 DSPs와 FPGAs를 보유하여 업계에 최첨단의 이미지처리 엔진을 장착하였습니다 :
- 개선된 이미지 획득 성능으로 최선의 검출된 이미지 품질 확보합니다.
o 뛰어난 고속 데이터 처리과 데이터 분석으로 전체적 시스템의 처리량 확대합니다.
o 새로운 애플리케이션 설정에 대한 고융통성을 가집니다.
o 모든 구체적인 수요/애플리케이션에 만족시킨 검출 방식이 적용됩니다.
o 모든 시품/복잡한 최신 PCB 설계에 빨리 적용됩니다.
- 독립적인 세가지 검출 알고리즘을 동시에 사용합니다.
o CMTS-Camtek 형상추적시스템
o DRC-설계 규칙 검사
o 템플릿 매칭
o 모든 중요한 결함 검출 확보
결함 이미지
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